危險固體廢物、醫療和生產垃圾焚燒過程中釋放出了一定的熱值煙氣，為了充分回收利用這些煙氣熱量，一般都會配套設置余熱鍋爐，由于焚燒爐產生的熱量相對比較固定，余熱鍋爐產生的蒸汽量也是對應固定的。

燃煤燃燒釋放出來的高溫煙氣經煙道輸送至余熱鍋爐入口，再流經過熱器、蒸發器和省煤器，經煙囪排入大氣，排煙溫度一般為150～180℃，煙氣溫度從高溫降到排煙溫度所釋放出的熱量用來使水變成蒸汽。

余熱鍋爐的汽水混合物離開其蒸發器有效的進入其上部鍋筒通過汽水分離設備分離，水落到鍋筒內水空間進入下降管繼續吸熱產汽，而蒸汽從鍋筒上部進入過熱器，吸收熱量使飽和蒸汽變成過熱蒸汽。

余熱鍋爐會根據產汽過程的三個階段對應三個受熱面，即省煤器、蒸發器和過熱器，如果不需要過熱蒸汽，只需要飽和蒸汽，有機廢氣處理可以不裝過熱器。當有再熱蒸汽時，則可加設再熱器。結尾進入后煙箱煙道內的余熱回收裝置，高溫煙氣變成低溫煙氣經煙囪排入大氣。由于余熱鍋爐大大地提高了燃料燃燒釋放的熱量的利用率，所以這種鍋爐十分節能。